探針台

探針台從操作上來區分有：手動，半自動，全自動

從功能上來區分有：温控探針台，真空探針台（超低温探針台），RF探針台，LCD平板探針台，霍爾效應探針台，表面電阻率探針台

根據客户需求定製

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" （可選）

X-Y移動行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"（可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動方式：立柱環繞型、移動平台型、龍門結構型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關

可搭配Probe card測試

適用領域：晶圓廠、研究所、高校等

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動範圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不鏽鋼或鍍金）

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動範圍2“x2”x2“

材質：花崗岩枱面+不鏽鋼

可搭配Probe card測試

適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品

LCD半自動探針台

機械手臂取放片

電動、鍵入座標尋位置

量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針台

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量測探針台（TDR）

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機台尺寸同LCD 探針台

太陽能產業探針台（Solar Cell 量測系統）

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

採用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器

探針測試台x-y工作台的分類

縱觀國內外的自動探針測試台在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作台，可編程承片台、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，並配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作台結構的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作台（又叫磁性氣浮工作台）自動探針測試台和以日本及歐洲國家生產的採用精密滾珠絲槓副和直線導軌結構的x-y工作台型自動探針測試台。由於x-y工作台的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。

無論是全自動探針測試台還是自動探針測試台，x-y向工作台都是其最核心的部分。有數據表明探針測試台的故障中有半數以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作台的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試台x-y工作台的維護與保養作一介紹。

2．1 平面電機x-y步進工作台的維護與保養

平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平台， 動子和定子間有一層氣墊，動子浮於氣墊上，而可編程承片台則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作台，由於動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵製鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序藉助於平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作台的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。

由於平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生鏽蝕現象，另外重物的碰撞及堅鋭器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對於已生鏽的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然後用脱脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除鏽劑除鏽。對於正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脱脂棉蘸少許大於95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然後用專用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內嵌氣孔螺母檢查是否有雜質堵塞氣孔，處理完畢後應恢復內嵌氣孔螺母原始狀態。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環境温度15～25 ℃，相對濕度小於50%的環境中，其所需的壓縮空氣必須經過乾燥過濾處理且與環境空氣温度差值小於5 ℃，氣壓為0．4±0．04MPa。

2．2 滾珠絲槓副和導軌結構x-y工作台的維護與保養

相對於平面電機工作台，絲槓導軌結構的工作台結構組成較複雜，工作台由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作台由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲槓副帶動工作台運動，導向部分採用精密直線滾動導軌。由於運動部分全部採用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作台應放置在温度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲槓、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作台在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作台之間的垂直度以及工作台的重複性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用户一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整後很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作台應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。

目前世界出貨量第一的型號吸收了最新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。

特性1：OTS-最近的位置對正系統（光學目標對準） 　OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源於東京精密的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。

特性2：QPU-高剛性的硅片承載台（四方型系統）　為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載台各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置（QPU），達到高剛性，高穩定度的接觸。

令客户滿意的測試環境，可以提供從前部開始的通常的8“，12”及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統應用做好了準備。

更加方便的操作，UF3000採用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客户自行定義。