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低温探針台

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低温真空探針台可用來測試芯片、晶圓片和封裝器件。應用領域包括半導體、MEMS、超導、鐵電子學、材料科學以及物理和光學等探針可以施加直流、低頻信號，高效率連續流低温真空系統可使温度控制在8K 到475K，可施加磁場（電磁鐵）。 [1] 
中文名
低温探針台
產    地
中國
所屬類別
分析儀器 > 電子光學儀器

目錄

  1. 1 技術指標
  2. 2 主要功能

低温探針台技術指標

10~400 K温度範圍，0~5000 Oe，0~360度轉角控制。 [1] 

低温探針台主要功能

低温真空探針台可用來測試芯片、晶圓片和封裝器件。應用領域包括半導體、MEMS、超導、鐵電子學、材料科學以及物理和光學等探針可以施加直流、低頻信號，高效率連續流低温真空系統可使温度控制在8K 到475K，可施加磁場（電磁鐵）。 [1] 
參考資料
  • 1.    低温探針台  ．中國科學院寧波材料技術與工程研究所[引用日期2024-03-11]