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半自動探針台
鎖定
半自動探針台是一種用於信息科學與系統科學領域的分析儀器，於2004年3月17日啓用。
- 中文名
- 半自動探針台
- 產 地
- 美國
- 學科領域
- 信息科學與系統科學
- 啓用日期
- 2004年3月17日
- 所屬類別
- 分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針
半自動探針台技術指標
支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出（測量）四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。
[1]
半自動探針台主要功能
- 參考資料
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- 1. 半自動探針台 ．國家科技基礎條件平台中心[引用日期2021-01-22]
