平面電機

與其他類型電機一樣，平面電機（Planar Motor）由定子、轉子和支撐部件等部分組成，在支撐部件的限制和電磁力的作用下，平面電機的動子能夠帶動負載產生兩維的平面運動。平面電機直接利用電磁能產生平面運動，具有出力密度高、低熱耗、高精度的特點，因省去了從旋轉運動到直線運動再到平面運動的中間轉換裝置，可把控制對象同電機做成一體化結構，具有反應快、靈敏度高、隨動性好及結構簡單等優點。

根據電磁推力的產生原理，可將平面電機劃分為變磁阻型、永磁同步型和感應型三類。三類電機電磁推力的產生原理分別與同類型的旋轉電機的電磁轉矩產生原理相似，實際上，各種類型平面電機的提出與同類型的旋轉電機不無淵源關係。上述三種平面電機中，感應平面電機的研究尚處於初級階段，研究活動較少，且主要集中在日本。變磁阻平面電機經過前二、三十年的研究和開發，目前已經進入初步的產品化階段。雖然這種平面電機具有結構簡單、控制容易等優點，但是，它存在推力波動大、定位精度低、動定子之間吸力大、磁路嚴重飽和、發熱量大等諸多問題，因此，其應用檔次難以進一步提高。永磁同步型平面電機(Synchronous Permanent-Magnet Planar Motors，簡稱SPMPM)是近期研究和開發的熱點。由於其在結構、控制精度、損耗等方面具有良好的綜合性能，它在光刻機等現代精密、超精密製造裝備中具有巨大的應用潛力，引起了國內外學術界和工程界的廣泛興趣。