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探針測試台
鎖定
探針測試台是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2015年11月01日啓用。
- 中文名
- 探針測試台
- 產 地
- 美國
- 學科領域
- 機械工程
- 啓用日期
- 2015年11月01日
- 所屬類別
- 計量儀器 > 電磁學計量儀器 > 直流電阻副基準
探針測試台技術指標
載物台：6英吋（150mm）、低噪聲、不鏽鋼表面、三軸同軸電纜聯接；X、Y最大移動距離6 x 6英吋，靈敏度：每度40微米；測試漏電電流最低可以達到10-12A；被測器件是以載物台被抽真空的方式固定在上面。
[1]
探針測試台主要功能
用於中試封裝之前的芯片的性能測試。其包括IV測試儀與探針台兩部分，IV測試儀主要用於提供電壓和電流激勵信號給器件，並測試反饋回來的信號以確定器件的性能，探針台則為器件和IV測試儀之間提供物理信號的接駁。
[1]
- 參考資料
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- 1. 探針測試台 ．國家科技基礎條件平台中心[引用日期2020-11-07]
