複製鏈接
請複製以下鏈接發送給好友

三氟化氮

鎖定
三氟化氮(nitrogen trifluoride),是一種無機化合物,化學式NF3,常温常壓下為無色氣體,不溶於水,是一種強氧化劑,是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體,還可用作高能燃料
中文名
三氟化氮
外文名
nitrogen trifluoride
化學式
NF3
分子量
71.002
CAS登錄號
7783-54-2
EINECS登錄號
232-007-1
熔    點
-207 ℃
沸    點
-129 ℃
水溶性
不溶
外    觀
無色氣體
安全性描述
S17;S23;S38
危險性符號
O
危險性描述
R8

三氟化氮理化性質

熔點:-207℃
沸點:-129℃
折射率:1.187
外觀:無色氣體
溶解性:不溶於水 [1] 

三氟化氮分子結構數據

摩爾體積(cm3/mol):52.1
等張比容(90.2K):86.3
表面張力(dyne/cm):7.5
極化率(10-24cm3):2.48 [1] 

三氟化氮計算化學數據

疏水參數計算參考值(XlogP):1.9
氫鍵供體數量:0
氫鍵受體數量:4
可旋轉化學鍵數量:0
互變異構體數量:0
重原子數量:4
複雜度:8
同位素原子數量:0
確定原子立構中心數量:0
不確定原子立構中心數量:0
確定化學鍵立構中心數量:0
不確定化學鍵立構中心數量:0
共價鍵單元數量:1 [1] 

三氟化氮毒理學數據

LC50:19000mg/m3大鼠吸入,1h);5600mg/m3小鼠吸入,4h)
大鼠於308mg/m3濃度下,每天吸入7h,共4~5個月,見肝、腎有輕至中度病理改變,脾腫大,尿氟增高。 [1] 

三氟化氮用途

三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體,還可用作高能燃料

三氟化氮急救措施

皮膚接觸:脱去污染的衣着,用流動清水沖洗。若有灼傷,就醫治療。
眼睛接觸:立即翻開上下眼瞼,用流動清水沖洗15分鐘。就醫。
吸入:迅速脱離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢,呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。就醫。

三氟化氮泄漏應急處理

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,並進行隔離,嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防毒服。儘可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗後再用。

三氟化氮防護措施

工程控制:嚴加密閉,提供充分的局部排風和全面通風。
呼吸系統防護:空氣中濃度較高時,應該佩戴自吸過濾式防毒面具(半面罩)。
眼睛防護:戴化學安全防護眼鏡。
身體防護:穿防毒物滲透工作服。
手防護:戴橡膠手套。
其他防護:工作現場嚴禁吸煙。保持良好的衞生習慣。

三氟化氮操作處置與儲存

操作注意事項:嚴加密閉,提供充分的局部排風全面通風。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具半面罩),戴化學安全防護眼鏡,穿防毒物滲透工作服,戴橡膠手套。遠離火種、熱源,工作場所嚴禁吸煙。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與還原劑接觸。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈,防止鋼瓶碰撞、損壞。配備相應品種和數量的消防器材泄漏應急處理設備。
儲存注意事項: 儲存於陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫温不宜超過30℃。應與易(可)燃物、還原劑、食用化學品分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。
運輸注意事項:鐵路運輸時須報鐵路局進行試運,試運期為兩年。試運結束後,寫出試運報告,報鐵道部正式公佈運輸條件。採用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,並應將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板,並用三角木墊卡牢,防止滾動。嚴禁與易燃物或可燃物、還原劑、食用化學品等混裝混運。夏季應早晚運輸,防止日光曝曬。公路運輸時要按規定路線行駛,禁止在居民區和人口稠密區停留。鐵路運輸時要禁止溜放。

三氟化氮安全信息

三氟化氮安全術語

S17:Keep away from combustible material.
遠離可燃物料。
S23:Do not breathe gas/fumes/vapour/spray.
不要吸入氣體/煙霧/蒸汽/噴霧。
S38:In case of insufficient ventilation, wear suitable respiratory equipment.
通風不良時,佩帶適當的呼吸器

三氟化氮風險術語

R8:Contact with combustible material may cause fire.
與可燃物料接觸可能引起火災。
參考資料