徐華

工學學士 (計算機科學與技術), 西安交通大學, 中國, 1998;

工學碩士 (計算機應用技術), 清華大學, 中國, 2001;

工學博士 (計算機應用技術), 清華大學, 中國, 2003. ^[1] 

分佈式智能信息處理

集成電路製造裝備先進工藝控制

研究團隊重點專注於進化計算、智能信息處理的應用基礎研究、集成電路裝備先進控制技術的應用研究等領域。在進化計算研究方面，專注於改進當前的基於多變量的分佈式估計優化算法，以提高算法的收斂速度和優化解的質量。在智能信息處理方面，我們基於當前的機器學習算法，展開互聯網文本信息的情感分析與挖掘方面的研究工作。在集成電路裝備先進控制技術的應用研發方面，針對標準化的集成電路製造裝備，研發集束型的裝備控制軟件與平台。

作為一種多變量分佈估計算法（EDA），提出的L1BOA算法採用了L1規則化迴歸（L1-regularized regression）方法，從參數估計的角度解決了貝葉斯網絡的學習問題，能夠支持構建稀疏、近優的網絡模型。與經典的貝葉斯優化算法（BOA）相比，L1BOA算法能夠提高貝葉斯網絡模型的學習效率，並且自動調控網絡的複雜程度。

針對300mm集成電路製造裝備在集羣化控制上的應用需求，研發了標準化、模塊化、網絡化的集成電路製造裝備的集羣化控制方法及其實現技術，為中國集成電路裝備研發產業提供了共性核心技術的支持。我們同時基於集成電路裝備集羣化控制技術，面向200mm刻蝕機應用控制需求，研發了集羣化的刻蝕機控制系統。到2007年，刻蝕機系統已經實現了產業化，相應的核心技術已經應用於國內主流的200mm和300mm集成電路生產線上。該研發項目也因此獲得2009年度國家科技進步二等獎和2007年度北京市科技進步一等獎。 ^[1] 

國家02號科技重大專項子課題: PVD整機裝備檢測平台研發 (2009-2010);

國家02號科技重大專項子課題: 集束式控制平台與軟件 (2009-2010);

國家自然科學基金面上項目: 基於Agent的時間Petri網協作多機器人系統建模與性能評價方法研究 (2006-2007);

國家自然科學基金面上項目: 基於概率模型演化算法的協作多機器人系統學習與協調控制方法研究 (2009-2011). ^[1] 

國家科技進步二等獎——100nm高密度等離子刻蝕機研發與產業化 (2009);

北京市科技進步一等獎——100nm高密度等離子刻蝕機研發與產業化 (2007). ^[1]