MEMS教育部重點實驗室

MEMS，即微電子機械系統，就是利用可批量化製造的微電子工藝，設計、製作和集成各類微小機械結構與系統的新興技術，被譽為“微觀世界的建築學”。面對系統智能化、微型化、集成化發展的時代需求，東南大學以微電子學與固體電子學學科為主體、聯合工程力學和機械工程學科，組建了MEMS實驗室。

1999年開始申報微電子機械系統（MEMS）教育部重點實驗室， MEMS教育部重點實驗室於2001年9月通過教育部驗收正式成立，2002年和2007年先後順利通過教育部評估。 ^[1] 

實驗室依託東南大學電子科學與技術一級國家重點學科，是國家“211”工程、“985”工程重點建設部門。用房面積逾3200平方米，中心實驗室固定人員33人，其中教授9人、副教授12人。科研團隊中有國家傑出青年科學基金獲得者2人，教育部“新世紀優秀人才支持計劃”入選者5人。每年招收碩士約30人，博士約10人。 ^[1] 

實驗室 秉持“多元、協作、卓越”的發展理念，以國家需求為導向，面向國際前沿，實驗室在CMOS MEMS、RF MEMS、MEMS CAD、MEMS封裝與可靠性、NEMS等方向上成立了專業的研究團隊，團結合作，鋭意進取，逐步發展成為國內外知名的MEMS研究基地。 ^[1] 

（1）傳感器研究室

組長：黃慶安 教授

（2）MEMS設計研究室

組長：周再發 研究員

（3）RF封裝及可靠性研究室

組長：尚金堂教授

（4）納米系統(NEMS)研究室

組長：孫立濤 教授 ^[4] 

2013年完成國家973項目1項計97.24萬元，國防973項目4項計360萬元，國家自然科學基金項目8項計253萬元，其它項目4項計54.6 萬元；在研項目41項計5751.6萬元。 ^[5] 

2014年完成國家863項目1項計344.5萬元，國家自然科學基金項目3項計80萬元，其它項目5項計223.6萬元；在研項目52項計6552.5萬元。 ^[6] 

2015年度實驗室完成科研經費總計2013.40萬元，其中973項目1項，經費148萬元；國家傑出青年科學基金項目2項，總經費350萬元；國家自然科學基金重大科研儀器研製專項項目1項，經費200萬元；國家自然科學基金16項，總經費405.05萬元；國家863計劃項目5項，經費455.4萬元；技裝項目6項，經費226萬元；其它省部級科研項目12項，總經費167萬元；橫向項目 8項，總經費57.95萬元。 ^[3] 

近五年已發表SCI收錄論文140餘篇、發明專利授權100餘項，專著、譯著逾10部，3項科研成果轉化應用，在MEMS領域頂級期刊JMEMS上發表論文9篇，居國內高校領先水平。 ^[1]  主要論文發表在Nature, Nature Materials, Nature Nanotechnology, Nature communications, Physical Review Letters, Energy & Environmental Science, Advanced Materials, Advanced Functional Materials, 2D Materials, Nano Energy, MRS Bulletin, Small, Nanoscale, Journal of Physical Chemistry C, IEEE-Transactions on Electron Devices,Applied Physics Letters、Lab on Chip、JMM、S&A等維納材料或微納系統領域相關重要期刊上，所研製的微型氣象站系統和智能路面傳感器系統已投入實用。 ^[3-6] 

研究成果獲國家技術發明二等獎1項、江蘇省科技進步一等獎1項、教育部自然科學獎一等獎1項。 ^[1] 

地址：中國南京市玄武區四牌樓2號南高院（東門）

郵編：210096