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陳鵬
（傑出青年中關村獎獲獎者）
鎖定
- 中文名
- 陳鵬
- 職 業
- 北京北方華創微電子裝備有限公司射頻工程中心總經理
陳鵬研究方向
陳鵬所獲榮譽
陳鵬人物影響
陳鵬帶領團隊開發出電感耦合、電容耦合等離子體技術，雙頻低損傷磁控濺射技術等多個射頻與等離子相關的技術，研發出射頻等離子系統，該系統是刻蝕機和PVD設備中的關鍵系統，使開發的刻蝕機和PVD打破了國外壟斷，實現量產。生產的刻蝕機、PVD等裝備在中芯國際、長江存儲等主要集成電路生產企業應用。
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- 參考資料
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- 1. 北京市科學技術委員會、中關村科技園區管理委員會 傑出青年中關村獎 陳鵬 ．北京市科學技術委員會、中關村科技園區管理委員會[引用日期2022-01-14]
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