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微區成分分析
鎖定
- 中文名
- 微區成分分析
- 外文名
- microanalysis
- 簡 稱
- 微（束）分析或微探針
- 特 徵
- 表面線度約1微米麪積內進行分析
微區成分分析種類概況
微區成分分析技術種類繁多，大多是用能會聚成微米的射線與樣品相互作用，在有效探測體積內激發出射線的能量（或質量）和強度來進行成分分析的。入射和出射的射線可同可異的不同組合，就構成了多種各有特色的微區成分分析技術，常用的有電子探針、質子探針、俄歇電子探針、離子探針、激光探針、原子探針和近場光學顯微鏡等。
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微區成分分析電子探針
用能量幾萬電子伏直徑約1微米的電子微束，在樣品表面取樣深度近1微米的微區內激發出標識X射線，由其能量和強度來識別組成的元素和含量。探測極限為10－14—10－15克，可用於探測原子序數大於或等於4的元素。定量分析精確度近1%，可與電子顯微鏡兼容。
[1]
把電子探針中的電子換成質子就成為質子探針，即質子顯微鏡。相對於電子探針，由於軔致輻射小，探測靈敏度可提高2—3個數量級。此外，還可在空氣中進行分析且是非破性的，對生物樣品如細胞中的微量元素的成分分析特別有價值。缺點是質子射線要從加速器中引出。
[1]
微區成分分析俄歇電子探針
用比電子探針能量低的數千電子伏電子微束，在樣品表面取樣深度僅為0.5—2納米的表面層內激發出俄歇電子，因為其能量與原子內層能級有關，所以具有“指紋”鑑定的特徵。探測極限為10－4。定量分析較好，特別適作微區表區低原子序數元素的成分分析。
[1]
微區成分分析離子探針
用能量數千電子伏，直徑約1微米的一次離子束，轟擊樣品表面微區使樣品受損面濺射出二次離子，經質譜法分析可得到每一時刻新鮮表面下取樣深度為2—10納米範圍內的多元素和同位素分析。它具有極高的靈敏度，探測極限在10－15—10－19克，可用於測量半導體、金屬、合金的痕量和微量成分以及它們隨深度的分佈。缺點是以破壞樣品表面為代價，而且難作定量分析。
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