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帶外輻射
鎖定
- 中文名
- 帶外輻射
- 外文名
- out of band radiation
導致極紫外光刻膠圖形分辨率不夠和邊緣粗糙度較高的一個很重要的原因是曝光時光源中的非13.5nm波長的成分,又稱帶外(out of band,OOB)輻射。而且OOB輻射還會導致光刻膠的放氣量增大,增大光學系統被污染的概率。為此,光刻材料供應商專門設計了一種保護層材料(OOB protection layer,OBPL),它被塗覆在極紫外光刻膠表面,既能吸收OOB輻射又能阻擋光刻膠放氣。
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