極紫外光刻膠

極紫外光刻用於量產，必須滿足以下幾個條件 ^[1]  ：

首先是產能，2015年極紫外管個科技的產能只有80片/每小時，這一性能必須提高至至少兩倍才能達到量產要求。也就是説，極紫外光刻機曝光是的功率必須增大一倍。

其次，掩模上的缺陷密度必須降低到使用要求，這些缺陷主要來源於空白掩模基板和掩模版使用時的外來顆粒。

第三，光刻膠必須滿足分辨率、圖形邊緣粗糙度以及敏感度的要求，總結如下表 ^[1]  ：