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聚焦深度
鎖定
- 中文名
- 聚焦深度
- 外文名
- Depth of Focus
- 英文縮寫
- DOF
聚焦深度名詞介紹
聚焦深度是衡量曝光工藝窗口的重要參數，它標誌了曝光系統成像的質量和晶圓表面位置的關係。在聚焦深度範圍之內，曝光成像的質量是可以保證的。曝光時的聚焦深度必須要遠大於晶圓表面的不平整度，只有這樣才能保證光刻工藝的良率
[3]
。
聚焦深度描述方程式
如圖1所示，為簡化計算，只考慮來自掩膜版的第0級和第1級衍射光通過投影透鏡在晶圓上成像，聚焦深度定義為2P0P，即為：
DOF=2P0P=λ/2(NA)
其中，λ=曝光的波長，NA=光學系統的數值孔徑[1]
圖1
球形波面的光程計算（P0是波面的聚焦點，即R0P0=RP0）
