乙硅烷

分子量：62.22

熔點(101.325kPa)：-132.6℃

沸點(101.325kPa)：-14.3℃

液體密度(-14.3℃，101.325kPa)：901 kg/m

氣體密度(-14.3℃，101.325kPa)：2.97kg/m

熔化熱(-132.6℃，14055kPa)：1.34 kJ/kg

氣化熱(-14.3℃，101.325kPa)：343.74 kJ/kg

蒸氣壓(-80℃)： 3.4kPa；(0℃)： 181kPa；(80℃)： 1468kPa

着火點： 室温以下

乙硅烷為無色透明液體，在空氣中自燃，着火點低於室温，遇到空氣即瞬間燃燒，並分解成為SiH₄和H₂。燃燒濃度範圍寬，濃度在0.2%以上時，燃燒發出火焰；濃度在0.2%以下時，進行氧化反應生成白色的SiO₂。在氯氣中爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應，但如果是在低温，則適度地進行鹵化。與SF₆接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應。與鹼金屬及汞合金反應分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用遊離出H₂。與純水和酸不反應，但與鹼反應生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量鹼的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質的存在時，在常温也緩慢地分解 ^[1]  。

Si₂H₆ → SiH₄ + (SiH₂)_x

乙硅烷可溶於二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等，但對大多數金屬不腐蝕。

1、疏水參數計算參考值（XlogP）：無

2、氫鍵供體數量：0

3、氫鍵受體數量：0

4、可旋轉化學鍵數量：0

5、互變異構體數量：無

6、拓撲分子極性表面積：0

7、重原子數量：2

8、表面電荷：0

9、複雜度：0

10、同位素原子數量：0

11、確定原子立構中心數量：0

12、不確定原子立構中心數量：0

13、確定化學鍵立構中心數量：0

14、不確定化學鍵立構中心數量：0

15、共價鍵單元數量：1 ^[2] 

Mg₂Si + HCl → Si₂H₆ + MgCl₂

反應產物為甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它們精製分離後得乙硅烷。

用氫化鋁鋰等還原劑還原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精餾和吸附等方法精製。

甲硅烷經輝光放電後聚合生成高級硅烷，用液氮冷卻回收，採用低温精餾法除去氫和甲硅烷即可。

1、用於太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。在太陽能電池生產中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在離子注入中，以乙硅烷作離子源後易起輝、束流強，效果明顯好於用其他氣體作離子源。

2、在半導體工藝中用於外延和擴散工藝，也用於太陽能電池和電子照相用的感光鼓。

有關乙硅烷的毒性方面的文獻資料很少，但是從理論上以及其它類似氫化物的毒性中可以推測出，乙硅烷也是有毒的。

因為乙硅烷比硅烷更不穩定，所以，應該比硅烷更加註意。鋼瓶温度不能冷卻到乙硅烷的沸點(-14.3℃)以下，因為這是非常危險的。

因為乙硅烷在空氣中自燃，很容易發現其泄漏，而且有時在泄漏時產生爆炸聲，所以要沉着處理泄漏。當小量泄漏時，要站在上風方向去關閉鋼瓶閥；關閉閥門仍然止不住時，要澆水並監視到完全燒完為止；或者轉移到通風良好的安全場所。當大量泄漏時，主要考慮控制火勢使火災不擴展到別處。為此，要消除一切火源，把附近的可燃物轉移出去；採取一切保護措施，例如，澆水降温，把泄漏容器沉入水中，讓它在水面上燃燒，撤離人員，封鎖危險區等，使人員和物質財富少受損失 ^[3]  。