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丙硅烷
鎖定
丙硅烷是一種英文名稱為Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane的化學物質。它的主要用途為半導體硅膜製造、非晶硅製造。是丙烷的硅烷類似物。
- 中文名
- 丙硅烷
- 外文名
- Trisilane
- 別 名
- Trisilicopropane
- 化學式
- Si3H8
- 分子量
- 92.33
- CAS登錄號
- 7783-26-8
- 熔 點
- -117.4 ℃
- 沸 點
- 53 ℃
- 水溶性
- 逐漸分解
- 密 度
- 0.743 g/cm³
- 外 觀
- 無色液體
- 閃 點
- -40 ℃
- 應 用
- 生產半導體
- 蒸氣壓
- 12.7 kPa
丙硅烷簡介
丙硅烷用途
半導體硅膜製造、非晶硅製造。其熱分解可以產生半導體硅薄膜和納米線。
丙硅烷結構物理性質
液體密度(-117.4℃): 725kg/m3
氣體密度(0℃,101.325kPa):4.15kg/m3
比熱容(氣體,27℃): 1256.04J/(kg·K)
粘度(20℃):0.00318 Pa·s
結構類似於丙烷
丙硅烷化學性質
丙硅烷是Alfred Stock通過鹽酸和硅化鎂的反應制備並鑑定的。早在1857年,弗里德里希·沃勒(Friedrich Woehler)和海因裏希·布夫(Heinrich Buff)就已經探索了這種反應,並於 1902 年由亨利·莫伊桑(Henri Moissan)和塞繆爾·斯邁爾斯(Samuel Smiles)進一步研究。
丙硅烷在常温常壓下為可燃性有毒液體。它具有與甲硅烷類似的化學性質,但其反應性比甲硅烷和乙硅烷更強。在空氣中能自燃。它在空氣中的爆炸範圍不詳,但是可以估計、比甲硅烷的爆炸範圍還大。因此,當把它與空氣接觸時,為安全起見,必須把濃度控制存0.1%以下。它不溶於水,不與酸反應,但能與鹼反應生成硅酸和氫。與單體鹵素激烈反應。它無腐蝕性。丙硅烷的熱穩定性比甲硅烷差,靠其放電能量也可使其分解成Si和H2。不過,利用其分解性質,可以用於生產非常薄的硅片,副產物是甲硅烷。反應如下:
Si3H8 = 2SiH4 + Si
丙硅烷安全防護
丙硅烷容器要存放在陰涼通風良好之處,要遠離熱源和火種,要與其它可燃性物質和腐蝕性藥品隔離,庫温不宜超過40℃,避免陽光直射。搬運時要輕裝輕卸,嚴防容器受撞擊。
着火時要切斷氣源,通惰性氣體以控制火勢,單純靠滅火劑來滅火是不行的。
排放丙硅烷廢氣時,必須是在完全分解之後排放,或者是在嚴格控制之下燃燒掉。具體的作法如下:
(1)導入液化石油氣等連續燃燒的火焰中,使其一同燃燒掉。
(2)通入鹼性水溶液中,使其全部水解。
(3)通入鹼金屬(Na、Li等)的低級醇溶液中(約0.5%),使其水解。