六氯乙硅烷

六氯乙硅烷是六氯乙烷的硅類似物，但是化學性質不同。六氯乙硅烷對水穩定性較差。

六氯乙硅烷分子採用乙烷結構，Si-Si單鍵鍵長為233pm。六氯乙硅烷是在硅化物氯化過程中產生的，例如二硅化鈣。理想的反應方程式如下：

CaSi₂ + 4 Cl₂ → Si₂Cl₆ + CaCl₂

六氯乙硅烷在空氣或氮氣中在高達400°C的温度下至少可以穩定數小時，但即使在室温下，在路易斯鹼存在下會分解成十二氯代新戊硅烷和四氯化硅，這種轉化可用於製造用於包括光伏電池在內的半導體器件的硅基組件。反應方程式為：

4Si₂Cl₆ → 3SiCl₄ + Si₅Cl₁₂

該化合物也是脱氧反應的有用試劑，例如還原氧化膦為膦。