溝道

溝道是半導體中由於外加電場引起的沿長度方向的導電層。如MOS結構中當施加外部電場時在半導體表面形成的積累層及反型層 ^[2]  。

在場效應晶體管中，源區和漏區之間有一薄半導體層，電流在其中流動受柵極電勢的控制。溝道寬度是表 徵集成電路集成度的重要標誌。商品集成電路中場效應晶體管的溝道寬度已小到0.25微米，每個芯片上包含了7億多個晶體管 ^[1]  。