林本堅

1942年，林本堅出生在越南，從小生長在越南西貢。 ^[5] 

1959年，到台灣新竹高級中學讀書。 ^[8] 

1963年，獲得台灣大學電機工程學系學士。 ^[4] 

1970年，獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士。

1970年—1992年，在美國國際商用機器公司任研究員、研發經理、部經理、幕僚。

1992年—2000年，在美國領創公司任總經理。 ^[4] 

2000年，回到台灣，加入了台灣積體電路製造股份有限公司（以下簡稱：台積電）。 ^[8] 

2000年—2015年，在台積電任資深處長、傑出科技院士和副總經理。

2008年，當選美國國家工程學院院士。 ^[6] 

2014年，成為第一位出身業界的台灣“中央研究院”院士。 ^[6] 

2015年底，從台積電退休。 ^[5] 

2016年起，任台灣清華大學特聘研究講座教授。 ^[4] 

林本堅一系列突破性的創新所開拓的浸潤式微影（也稱光刻）方法，革新了集成電路的製程，使先進半導體芯片的特徵尺寸能持續縮減為細微納米量級，在過去十五年以及可預見的未來，為建造最強大的計算和通信系統做出了關鍵貢獻。2002年，林本堅發明了“浸潤式微影技術”，徹底改變了集成電路的生產。這項技術是在透鏡和硅片表面的間隙中，用水代替空氣以提高分辨率。當全世界的半導體研發團隊都在專注於157納米波長技術時，林本堅創造性地以193納米波長的光，通過水作為介質，將其縮短至134納米。他通過各種國際研討會説服同行使用該技術，由此繼續將摩爾定律延續下去。 ^[8-9] 

《把心放上去：林本堅的‘用心則樂’人生學》 ^[5] 

“技術上的困難都是紙上談兵，要有晚上睡不着覺的信念去解決問題。”他勉勵年輕人，做科研一定是享受科學樂趣的，“不要死犟，要會轉彎，會求助，‘三個臭皮匠頂個諸葛亮’。” ^[2] 

林本堅的父母早先時候居住在香港，在抗戰時期逃到相對安全的越南，林本堅便出生在那裏。在越南，他一方面接受中國式的教育，另一方面因父親曾是一所英文學校的校長，為他學習英文打下了紮實基礎。林本堅的妻子是黃修慧。 ^{[2]  [8]} 

林本堅是虔誠的基督教徒，待人和善，説話的時候語調總是慢慢的輕輕的，以前的同事和晚輩都稱他“Burn爺爺”。但是，當面對自己的工作和研究時，這個和善的老先生就會無比堅定。 ^[5] 

誠信、正直、操守，還有反覆強調的合作精神。 ^[2] 

林本堅是極具成就的科學家和發明家，半導體工業界的英雄，“浸潤式微影之父”。他彬彬有禮、丰采奕奕，顛覆了人們對科研工作者的一貫印象。內斂、安靜、風趣，這幾個特點，是洋溢在林本堅身上的易被感知的特點。在科學家的崗位上盡責盡心，當先生，又表現得體、周道。作為科學家，在外，45年如一日，開山闢路，榮譽等身，業界隆崇。在內，父慈子孝，伉儷榮諧，活力盎然。（網易科技評） ^[9] 

假如沒有林本堅及其團隊，“台積電的微影（半導體關鍵製程之一）不會有今天這規模。”（台積電董事長張忠謀評） ^[8] 

獎勵他開拓浸潤式微影系統方法，持續擴展納米級集成電路製造，將摩爾定律延伸多代。（未來科學大獎獲獎評語） ^[10] 

“他的心，跟上了他的每一個步伐。”（林本堅摯友評） ^[2] 

“林本堅院士是改寫半導體歷史的巨擘，也是光學微影技術的先驅者，清華能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教，非常榮幸。”（台灣清華大學電機系主任徐碩鴻教授評） ^[7] 

林本堅從台積電退休後，和妻子一同為俄亥俄州立大學母校創辦助學基金，將未來大學大獎的100萬美元獎金全數捐入基金會。 ^[2]