微影技術

微影技術(Lithography)是製造晶體管及它們之間的連結的關鍵技術，其主要是指利用一定波長的紫外線透過掩膜(mask)後照射在硅晶元上，將掩膜上的電路圖像完整地複製到硅晶元上從而形成所需要的電路圖形的過程。掩膜其實可以看作是CPU內核電路的微縮“底片”，廠商事前先將一幅有着非常複雜的設計模型的原圖縮小成極細微的蝕刻掩膜。未曝光的光阻劑經化學處理及烘烤而硬化，因此能保護陰影下的區域稍後的化學蝕刻。