廣東省微納加工技術與裝備重點實驗室

廣東省微納加工技術與裝備重點實驗室於2011年9月由廣東省科學技術廳批准成立。科研團隊主體來自廣東工業大學機械工程學科、應用光學學科及自動控制學科科研團隊。其中，教授14人、副教授12人、講師11人，科研人員90%以上具有博士學位，包括廣東省引進創新團隊帶頭人1人。 ^[1] 

研究微納加工基礎理論、加工工藝與測量技術，包括微結構、平面、自由曲面的微納加工機理、工藝與測量技術，納-微-宏尺度效應下的材料去除機理，自主創新的核心加工工藝技術。

納米級精度數控裝備、微細電解加工機牀、超精密超高速核心功能部件（包括直線電機、氣浮導軌、 氣浮主軸、超精密數控系統、 快刀伺服系統、宏微複合平台等）

·微納加工的刀具材料：聚晶金剛石PCD、聚晶立方氮化硼PCBN刀具；

·精密超精密陶瓷刀具：氮化硅與氧化鋁陶瓷刀具；

·超精密磨削工具：樹脂結合劑以及陶瓷結合劑兩種精密磨削砂輪；

·超精密拋光工具：CMP拋光墊；納米薄膜刀具：刀具塗層的設計原則與製備理論和工藝

1.光纖接頭V型微槽超精密加工機牀；

2.液晶導光板輥筒型模具超精密加工機牀；

3.5軸自由曲面超精密加工機牀；

4.系列微納加工核心工藝技術： 微結構電解-微火花複合成型工藝，磁流變、電磁流變複合研拋工藝，光柵玻璃納米加工工藝等；

5.納米精度定位裝置：採用空氣靜壓導軌和直線電機驅動方式，納米級精度光柵反饋定位控制技術等多項最新技術實現納米精度定位。超精密宏微複合運動平台；

6.快刀伺服裝置：進給行程70um，響應頻率1KHz；

7.超精密微納米數控系統：插補週期0.1ms；

8.超精密加工刀具：包括PCD和PCBN超精密車削刀具、基於氮化硅和氧化鋁基體材料的精密陶瓷刀具、樹脂結合劑與陶瓷結合劑微粉砂輪、基於CMP研磨拋光的超精密研磨墊、研磨盤以及針對CMP拋光的釺焊法制備的單層細粒度金剛石修整器。 ^[1] 

廣東省微納加工技術與裝備重點實驗室隸屬廣東省科技廳和廣東工業大學，設立學術委員會、實驗室辦公室和實驗室主任、副主任，專職管理人員。實驗室主任全面負責實驗室的業務、行政管理工作。學術委員會負責實驗室的發展規劃制定及其執行情況，指導實驗室建設。實驗室辦公室負責實驗室重大事務的決策與監督。根據重點實驗室研究目標及其所涉及的研究領域設置1個工程項目部、4個研究室（微納加工理論與技術研究室、微納製造裝備及功能部件研究室、微納加工工具研究室和微納器件研究室）。 ^[1]