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X射線光電子能譜分析
鎖定
- 中文名
- X射線光電子能譜分析
- 外文名
- X-ray photoelectron spectroscopy
- 應 用
- 元素的定性分析等
- 單 位
- 脈衝/s
X射線光電子能譜分析定義及原理
X射線光電子能譜分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射線去輻射樣品,使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子,可以測量光電子的能量,以光電子的動能為橫座標,相對強度(脈衝/s)為縱座標可做出光電子能譜圖,從而獲得待測物組成。XPS主要應用是測定電子的結合能來實現對錶面元素的定性分析,包括價態。 X射線光電子能譜因對化學分析最有用,因此被稱為化學分析用電子能譜(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA)
[1]
。1887年,Heinrich Rudolf Hertz發現了光電效應。二十年後的1907年,P.D. Innes用倫琴管、亥姆霍茲線圈、磁場半球 (電子能量分析儀)和照相平版做實驗來記錄寬帶發射電子和速度的函數關係。