EDS

利用不同元素的X射線光子特徵能量不同進行成分分析。

與WDS（波譜儀）相比，EDS（能譜儀）具有以下優缺點： 優點:

（1）能譜儀探測X射線的效率高。

（2）在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特徵波長。

（3）結構簡單，穩定性和重現性都很好。

（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適於粗糙表面分析。

缺點：

（1）分辨率低.

（2）能譜儀只能分析原子序數大於11的元素；而波譜儀可測定原子序數從4到92間的所有元素。

（3）能譜儀的Si(Li)探頭必須保持在低温態，因此必須時時用液氮冷卻。