波譜儀

分析範圍：原子數(Z): 5-92;定量分析精度:主要元素＞2%, 次要元素大於5%；加速電壓0.2-30kv；二次電子成像分辨率1-5um；放大倍數50-300000,；電子束流：10-12~10-5A；譜儀檢測限為10ppm。 ^[1] 

電子探針利用聚焦得非常細(微米-納米級)的高能電子束轟擊樣品表面，激發待測樣品的有用信息(如特徵X射線、二次電子、背散射電子等)，通過分析這些信息達到對樣品微區成分分析和形貌觀察的目的。配備有5道譜儀，既可以進行二次電子像(SEI)、背散射電子像(BSI)、透射電子像、吸收電子像、特徵X射線的線或面分布像等，又可以進行元素分析，包括定性和定量分析，以及元素的點、線和麪分析。廣泛應用於地球科學、材料科學、考古學、冶金等研究領域。 ^[1]