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設計手冊
鎖定
- 中文名
- 設計手冊
- 外文名
- Design Manual
設計手冊雖然是為設計者準備的參考書,但是有些內容對於光刻工程師,特別是“layer owner”,非常有用。這些內容包括:
(1) 器件的整個結構;
(2) 製造流程中所有光刻層的名字、功能及最小線寬要求;
(3) 光刻層之間對準的順序;
(4) 針對不同功能的器件,哪些光刻層可以省略;
(5) 在BEOL部分,哪些光刻層是在超低介電常數材料上,哪些光刻層是在低介電常數上,以及每一種介
電層的厚度;
(6) 每一個光刻層的設計規則。
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