缺位固溶體

例如用三價鋁離子置換尖晶石（MgAl2O4）中的二價鎂離子時，為了保持電中性，每加入兩個三價鋁離子，必須置換出三個二價鎂離子，留下一個正離子空位。相反，加三氧化二鑭到二氧鎂離子，留下一個正離子空位。相反，加三氧化二鑭到到二氧化鋯、加氧化鎘到三氧化二鉍中形成固溶體，則產生負離子空位。此外，碳化鈦（TiC）中溶入金屬鈦時，則在碳化鈦晶格中出現應為碳原子佔據但未佔據的空位而構成缺位固溶體。

缺位固溶體較置換固溶體和間隙固溶體的晶格歪扭大，畸變較嚴重，故晶體的活性較高。