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真空計
鎖定
- 中文名
- 真空計
- 外文名
- Vacuum Gauge
- 又 稱
- 真空表
- 功 能
- 測量真空度或氣壓的儀器
- 分 類
- 力學性能、氣體動力學等
- 應用範圍
- 在科研和工業生產中廣泛使用
真空計簡介
真空計分類原理介紹
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
真空計波爾登規
這種規的測量範圍一般在100Pa至1atm。
真空計薄膜電容規
這種規的測量範圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高於環境温度的恆温條件下使用,以消除温度不同對膜片力學性能的影響,使用前一般需要預熱數小時。
真空計皮拉尼電阻規
也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與温度之間關係的原理工作的。
如圖3所示,由於不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恆定的電流時,由於氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的温度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準確度。
這種規的測量範圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由於不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。
真空計熱電偶規
測量範圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
真空計熱陰極電離規
這種規的測量範圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改進後的熱陰極電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由於不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
真空計冷陰極電離規
這種規的測量範圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰極電離規同樣的原因,這種規在使用時需要在不同氣體下標定。
真空計量程範圍
在10~10Pa的中間壓力範圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
表1 真空計的適用壓力範圍
真空計的名稱 | 可測的壓力範圍(Pa) |
水銀壓力計(U型管) | 10~10 |
油壓力計(U型管) | 10~10 |
油壓力計(U型管) | 3*10~1 |
麥克勞真空計(一般型和特殊型) | 10~10 |
彈性變形真空計 | 10~10 |
隔膜真空計(機械式) | 10~10 |
隔膜真空計(電氣式) | 10~10 |
10~10 | |
超高真空用B-A型 | 10~10 |
極高真空用熱陰極磁控計 | 10~10 |
高真空用(舒爾茨型) | 10~10 |
冷陰極真空計 | 1~10 |
10~10 | |
10~10 | |
熱敏電阻真空計 | 10~10 |
粘性真空計 | 1~10 |
克努曾真空計 | 10-1~10 |