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超高真空
(真空類型)
鎖定
- 中文名
- 超高真空
- 外文名
- Ultra - High Vacuum
- 縮 寫
- UHV
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超高真空定義
按壓力等級來分,真空類型分為低真空,中真空,高真空以及超高真空(UHV)。其中通常認為壓力在
以下的真空被稱為超高真空。這也就是説單位體積內的分子數,只有正常大氣壓的1/1,000,000,000,000。
超高真空應用
超高真空通常用於表面科學,這是因為空氣中的分子會附着在暴露於空氣中的固體表面,並改變了固體的表面特性。即使在
的高真空當中,3秒之內就會有一層分子附着在裸露的固體表面。然而在超高真空中,同樣的過程將需要幾個小時才能完成,從而能保證表面特性研究的正常開展
[1-2]
。在如此超低的壓力下,單個分子的平均自由程可達到40Km。也就是説真空腔內的幾乎所有分子都會和腔壁發生碰撞。
按照分子能量來分,真空空間可分為四種類型:近場真空、熱真空、低温等離子體真空和高能粒子真空。
表面科學家和表面分析儀器工程師們一直都在研究近場區域。在基體材料的處理方面,包括地球環境技術,人們主要研究的是熱真空。
材料表面處理人員利用的是近場區域、熱真空和低温常規等離子體真空(不包括離子注入)的知識。
超高真空、極高真空及其研發技術的歷史和現狀,在P.A.Radhead,J.P.Hobson和H.F.Dylla出版的特刊JVSTA V01.21,5號增刊文章中作了很好的論述。
表面處理系統中的超高真空技術以研發技術為基礎,在工業應用上則多種多樣,考慮到經濟因素,實際應用中使用大量的特殊材料。
在工業上,超高真空技術是超清潔技術(UCL)的一個分支,任何材料和處理過程都應該保持清潔。超高真空處理的第一步是表面除氣及測量。我們首先討論的是超高真空系統的分子動力學基礎。
- 參考資料
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- 1. Ultra High Vacuum .UK Surface Analysis Forum[引用日期2013-06-18]
- 2. High Vacuum Technology .劍橋真空科技[引用日期2013-06-18]
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