湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室

在等離子體技術方面，主要進行多種等離子體裝置的研製，包括微波等離子體化學氣相沉積裝置、微波電子迴旋共振等離子體化學 氣相沉積裝置、射頻等離子體化學氣相沉積裝置、常壓等離子體化學氣相沉積裝置以及微波源的研製工作。

實驗室建築面積600餘平方米，固定資產400餘萬元， 擁有多種功率的微波等離子體化學氣相沉積裝置、微波電子迴旋共振等離子體化學氣相沉積裝置、熱絲化學氣相沉積裝置、大功率微波燒結爐、等離子體刻蝕機、磁控濺射鍍膜機、超音速氧噴槍、X射線衍射儀等。實驗室現有固定研究人員14名，全部具有博士學位，其中教授10名，副教授3名，高級工程師1名。

實驗室重視科研成果的開發，堅持走產學研結合的道路，近三年來共承擔了國家計委產業化示範工程項目、國家 863納米專項項目、國家自然科學基金、湖北省重大科技攻關專項項目、武漢市科技攻關項目等縱向項目20餘項，橫向項目10餘項。

實驗室以等離子體技術及其在材料中的應用作為其主要研究方向，密切等離子體技術和材料科學的交叉融合，根據本學科的發展趨勢、學科前沿以及國民經濟和社會發展需要，結合自身科研工作的積累和優勢，選擇本領域若干可能的突破點進行創新性研究和應用基礎研究。主要研究內容如下：

（1）等離子體技術：主要開展微波等離子體技術、微波電子迴旋共振等離子體技術、脈衝放電等離子體技術、直流電離子體技術以及射頻等離子體技術的開發研究，結合等離子體診斷技術，圍繞新材料的開發與處理進行等離子體的機理研究及相關裝置的開發研究；

（2）微波與微波化學研究：主要開展固定頻率高穩定度微波源的開發研製、微波萃取設備以及微波燒結爐的研製；

（3）材料製備與產業化研究：主要開展金剛石光學膜、熱沉膜、超硬金剛石塗層刀具、金剛石厚膜焊接刀具、超硬碳氮塗層以及納米碳管等新材料的製備與產業化研究，利用多種手段開展醫用高分子材料、功能礦物材料的製備與應用研究；

（4）等離子體深亞微米刻蝕與表面改性研究：主要開展微波ECR等離子體對多晶硅、石英玻璃的深亞微米可是技術研究以及高聚物、紡織品及動物毛料的等離子體改性研究。 ^[1] 

在等離子體技術應用方面，主要進行新 材料的製備以及材料表面處理研究，其中以膜材料及納米材料的製備為主，包括金剛石膜的製備，SiO2膜的製備、ZnO膜的製備以及納米碳管的製備研究，同時進行了納米材料等離子體改性、紡織品改性、高聚物改性以及等離子體刻蝕研究。