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液體管理系統
鎖定
- 中文名
- 液體管理系統
- 外文名
- fluid management system
浸沒式光刻(immersion lithography, IL)和步進閃光壓印光刻(step-and-flash imprint lithography, S-FIL)都是半導體行業採用的新技術。他們的一個共同點是都需要新技術來管理液體流動。儘管半導體加工在其他領域(如旋塗,濕法蝕刻等)中使用液體管理,但這些技術以新方式使用液體,這需要新的液體管理系統
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浸沒式光刻需要在鏡片和晶片之間注入液體,更重要的是保持液體附着在鏡片上不會分離或將液滴沉積在晶片表面上,這會在後續工藝步驟中造成缺陷。S-FIL需要創新技術將液體沉積到晶圓上,用液體填充模板的所有特徵,並控制模板整個長度上的薄膜厚度。
浸沒式光刻和S-FIL中液體管理的最重要方面是液體的表面張力或毛細管力。在浸入式光刻的情況下,表面張力是保持液體附着到透鏡上的因素,並且是透鏡移動造成流體不穩定的剪切力。在S-FIL中,毛細力主要負責將模板拉向晶圓,用流體填充模板和晶圓之間的間隙,並彎曲模板以符合晶圓的形狀。毛細力受到粘性阻力引起的潤滑力的影響,流過模板和晶片之間的窄間隙,並受到模板的彎曲力的影響
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