反饋

李小平

（華中科技大學教授、博導）

1966年1月出生，博士，研究員，博士生導師，國家科技重大專項“極大規模集成電路裝備及成套工藝”總體組專家，國家“光刻設備產業技術創新戰略聯盟”秘書長，上海微電子裝備有限公司副總工程師。中國光學學會製造技術專業委員會常務委員。^[1]

1966年1月出生，博士，研究員，博士生導師，國家科技重大專項“極大規模集成電路裝備及成套工藝”總體組專家，國家“光刻設備產業技術創新戰略聯盟”秘書長，上海微電子裝備有限公司副總工程師。中國光學學會製造技術專業委員會常務委員。

超精密運動控制技術、設備微環境污染檢測與控制技術、設備微環境温度控制技術

主要圍繞集成電路裝備和家用機器人等領域，採用實驗研究與理論分析相結合，研究其中的污染檢測、污染在線清洗、温度控制、電機驅動與控制關鍵技術和共性技術，加強與企業的技術合作，共同研發相關設備產品。

1）國家科技重大專項子課題：浸液處理與浸沒控制系統温度控制；

2）國家科技重大專項子課題：磁浮工件台真空系統仿真設計與動力學性能優化；

3）企業項目：高精度温度控制方法與污染控制。

參考資料

詞條統計