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朱煜

（清華大學機械工程系長聘教授）

鎖定
朱煜，男，1965年1月出生，2001年畢業於中國礦業大學，博士學歷，2004年起在清華大學任教。現為清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師。
擔任國家“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”科技重大專項實施方案編制專家組和總體專家組副組長、技術副總師，裝備組、光刻機組組長。出版學術專著2部，發表論文170餘篇，申請國家發明專利180餘項（授權110餘項、12項美國專利）。 [1] 
中文名
朱煜
出生日期
1965年1月
畢業院校
中國礦業大學
畢業院校
北京師範大學
學位/學歷
博士
職    稱
教授

目錄

  1. 1 人物經歷
  2. ▪ 教育經歷
  3. ▪ 工作經歷
  1. 2 研究方向
  2. 3 主要成就
  3. 4 代表著作
  1. 5 代表專利

朱煜人物經歷

朱煜教育經歷

（1） 學士，北京師範大學無線電電子學系，1983年獲無線電電子學理學學士學位；
（2） 碩士，中國礦業大學信息電子工程學院，1993年獲計算機應用工學碩士學位；
（3） 博士，中國礦業大學機械工程學院，2001年獲機械設計及理論工學博士學位 。

朱煜工作經歷

1983.08-1996.12，中國礦業大學，講師
1997.01-2004.03，中國礦業大學，副教授
1999.09-2001.07，清華大學制造工程研究所，訪問學者
2001.09-2004.03，清華大學制造工程研究所，博士後
2004.04-2007.11，清華大學精儀系，副教授
2007.12-2012.12/-至今，清華大學精儀系製造所/機械系機電所，長聘教授，博導 [2] 

朱煜研究方向

主要從事超精密機械與測控方向研究，包括精密測量與控制理論、超精密機械設計與製造、電子製造裝備及其系統等，研製出國內首個光刻機雙工件台系統樣機，關鍵技術指標已達到國際同類光刻機雙工件台的先進水平。 [2-3] 

朱煜主要成就

朱煜 朱煜
朱煜帶領百餘人重大科技研究攻關團隊，面向IC製造裝備的重大技術需求，圍繞納米級運動精度的生成，在超精密機械系統設計、超精密測量、超精密運動控制等方面，開展系統、深入的基礎理論與關鍵技術研究。主持國家科技重大專項項目及國家基礎科學研究計劃課題，研製出超精密工件台系統、大行程氣浮/磁浮平面電機、六自由度納米精度微動台等半導體制造裝備核心部件，掌握了IC製造裝備包括超精密機械設計與製造、超精密激光干涉測量與標定、納米精度高動態運動控制、高性能主動/被動隔振等具有自主知識產權的系列關鍵技術。
撰寫學術專著2部；發表學術論文總數171篇，其中SCI收錄54篇、EI收錄166篇，他引250次；申請中國發明專利130餘項，其中93項已授權，22項已公開；申請21項PCT專利，其中10項美國授權；此外申請實用新型專利30餘項，其中23項已授權。 [3] 
2019年3月1日，2018年度北京科學技術獎勵大會在北京會議中心召開。由清華大學摩擦學國家重點實驗室朱煜教授率領的研究團隊完成的“納米運動精度光刻機超精密雙工件台技術與應用”研究成果獲得北京市科學技術獎一等獎。 [4] 
2020年10月，由清華大學機械工程系長聘教授朱煜博士一人蔘與創辦的兩家公司都在申報科創板IPO：一家是由他實際控制的北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱“華卓精科”），另一家是由他聯合創建、歸屬清華大學的華海清科股份有限公司（簡稱“華海清科”）。 [5] 

朱煜代表著作

1．陳霸東，朱煜，胡金春，《系統參數辨識的信息準則及算法》. 2011.
2．陳霸東，朱煜，胡金春，Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms，Elsevier(英文版). 2013. [2] 

朱煜代表專利

1. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. COARSE MOTION AND FINE MOTION INTEGRATED RETICLE STAGE DRIVEN BY PLANAR MOTOR, US 15/307,752.
2. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. DUAL-FREQUENCY GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,828
3. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. OPTICAL GRATING PHASE MODULATOR FOR LASER INTERFERENCE PHOTOETCHING SYSTEM, US 14/761,605.
4. ZHU Yu, WANG Leijie, et al. THREE-DOF HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/900,111.
5. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. SIX-DEGREE-OF-FREEDOM DISPLACEMENT MEASUREMENT METHOD FOR EXPOSURE REGION ON SILICON WAFER STAGE, US 15/568,118.
6. ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,821.
7. 張鳴,朱煜,等.一種三自由度的運動工作台,201510587639.9.
8. 穆海華,朱煜,等.一種永磁彈射掩模台彈射區電機出力最小軌跡規劃方法,201510802623.5.
9. 朱煜,胡金春,等.一種基於磁場的六自由度位移測量方法, 201510959014.0.
10.朱煜,楊開明,等.一種基於VPX總線的工件台同步運動控制系統及方法, 201510983397.5. [2] 
參考資料