微電子機械系統教育部重點實驗室

東南大學1983 年開始集成傳感器的研究，並於1985 年在歐洲固態電子器件會議《 ESSDERC ￠85 ，Germany, p.88 》報道了集成 MOS 流量傳感器的研究結果；1986 年開始了硅片直接鍵合技術研究，並於1987年在《 Applied Surface Science 30(2)，397（1987）》報道了硅鍵合材料的測試結果；1987 年開始了微傳感器 CAD 研究，並於 1988 年在《 Solid State Electronics，31(2)，237（1988）》報道了MOS磁電耦合的計算機模擬結果。由於國際上MEMS的出現，實驗室於1989 年申請、1990年獲准國家自然科學基金項目“微機械加工靜電式微電機的研究”（批准號：80075220），並於1991年在《 Transducers'91,p.894，USA》上報道了基於氣體潤滑的微馬達研究結果。九十年代，實驗室MEMS研究得到了快速發展，出版了國內MEMS專著《硅微機械加工技術，科學出版社，1996年1月》、與美國DUKE 大學合作出版了國際上第一本鍵合技術專著《Semiconductor wafer bonding,John Wiley Sons,1998》。

MEMS是一門新興的交叉學科，為適應這種發展和需求，東南大學以電子科學與工程學院的《微電子學與固體電子學》學科為主題、結合工程力學系和機械工程學院相關課題組，組建了跨學科的研究結構，於1999年申請建立教育部重點實驗室。

實驗室聘請了一批國內知名專家組成了學術委員會；現有教授7人（其中博士生導師4人）、副教授9人，每年招收碩士生30名左右、博士生10名左右；實驗室具有國際先進水平的設計研究基礎設施，較好的加工和測試儀器設備；實驗室同時又是國家 “211” 工程、 “985” 工程重點建設部門；承擔了國家973項目、863項目、國家自然科學基金重點項目、總裝備部、教育部、地方政府等重大 / 重點科技研究與開發項目。

黃慶安，男，1963年1月出生，教授，博士生導師，近年來主要從事MEMS研究，在MEMS CAD、CMOS MEMS和新興MEMS器件研究。

1991年獲東南大學博士學位，現擔任東南大學“微電子學與固體電子學”學科教授、博士生導師，電子工程系副主任、MEMS教育部重點實驗室主任。江蘇省跨世紀人才基金和教育部優秀年輕教師基金獲得者。1995年任IEEE 高級會員、IEEE Electron Device Chapter 秘書、國際著名期刊《J.Appl.Phys.》和《Appl.Phys.Lett》特約審稿人，2001年擔任SPIE－OM02國際會議主席，曾任第六屆全國敏感元件與傳感器學術會議程序委員會委員、第四屆全國微米/納米技術學術會議程序委員會委員、首屆中國電子學會納米技術與應用學術會議程序委員會委員等。擔任十五“863”MEMS重大專項預啓動項目評審組長，曾獲教育部跨世紀優秀人才培養計劃基金、江蘇省高校優秀青年骨幹教師、江蘇省高校科研先進個人、國務院政府特殊津貼等榮譽。

在MEMS CAD、CMOS MEMS和新興MEMS器件研究方面完成科研項目13項，獲中國發明專利2項，發表SCI論文20餘篇，論文被國內外同行引用60餘篇（次），在國內首次編著了《硅微機械加工技術》（科學出版社,1996）。該書成為北京大學、哈爾濱工業大學等一些著名高校的研究生教材，有廣泛影響。

孫立濤：1976年出生，2005年3月在中國科學院上海應用物理研究所獲博士學位，2005年3月至2008年3月於德國美茵茲大學（University of Mainz）物理化學所做Research fellow。 2008年3月加入東南大學MEMS教育部重點實驗室，被聘為特聘教授、博士生導師。現為MEMS教育部重點實驗室副主任，東南大學-FEI納皮米示範中心負責人。

廖小平，男，1966年1月生，現為東南大學MEMS教育部重點實驗室教授。1987年畢業於東南大學無線電技術專業，碩士研究生畢業後留校任教；後在職攻讀博士學位，於1998年獲得東南大學微電子學與固體電子學博士學位，博士論文是關於 AlGaAs/GaAsHBT及其MMIC理論與實驗研究；2002年在香港科技大學做博士後研究，從事SOIRF/微波功率MOSFET研究。長期從事 MMIC和RF MEMS教學與科研工作。近五年獲得國家發明專利4項，已受理國家發明專利8項，在國內外發表論文20餘篇。

秦明，男，1967年10月出生，教授，博士生導師，研究方向：MEMS傳感器與微系統、MEMS材料與加工工藝等。

1994年和1997年在東南大學分別獲得碩士、博士學位；研究方向為硅半導體場致發射理論與實驗研究；1998年4月-1999年10月在香港科技大學電子與電機工程系開展博士後研究工作。研究課題為金屬誘導非晶硅橫向晶化技術。1999年10月後回校工作，從事CMOS MEMS傳感器與微系統的研究。2004年晉升教授。2004年獲選“教育部新世紀優秀人才”，2005年列入江蘇省青藍工程學術帶頭人培養計劃。是中國微米納米學會高級會員、中國儀器儀表學會傳感器分會常務理事，中國電子學會敏感技術分會氣濕敏傳感技術委員會委員、江蘇省電子學會集成電路分會和傳感技術分會秘書長。

完成國家級科研項目5 項，在Journal of Microelectromechanical Systems，Journal of the Electrochemical Society，Sensors and Actuators; Thin Solid Films等國內外期刊發表論文40餘篇；論文被國內外同行引用40餘次，獲中國發明專利6項。