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幹法刻蝕
鎖定
- 中文名
- 幹法刻蝕
- 外文名
- Dry etching
- 原 理
- 等離子體
- 兩個特點
- 活性比常態下時要強很多
- 用 途
- 幹法刻蝕
幹法刻蝕分類
幹法刻蝕又分為三種:物理性刻蝕、化學性刻蝕、物理化學性刻蝕。其中物理性刻蝕又稱為濺射刻蝕。很明顯,該濺射刻蝕靠能量的轟擊打出原子的過程和濺射非常相像。(想象一下,如果有一面很舊的土牆,用足球用力踢過去,可能就會有牆面的碎片從中剝離)這種極端的刻蝕方法方向性很強,可以做到各向異性刻蝕,但不能進行選擇性刻蝕。
幹法刻蝕原理和特點
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