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濺射刻蝕

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濺射刻蝕（sputtering etching）是2005年公佈的航天科學技術名詞。 [1] 
中文名
濺射刻蝕
外文名
sputtering etching
所屬學科
航天科學技術
公佈時間
2005年

目錄

  1. 1 出處
  2. 2 公佈時間

濺射刻蝕出處

《航天科學技術名詞》。

濺射刻蝕公佈時間

2005年，經全國科學技術名詞審定委員會審定發佈。 [1] 
參考資料