-
刻蝕速率
鎖定
- 中文名
- 刻蝕速率
- 外文名
- etch rate
刻蝕窗口的深度稱為台階高度。為了高的產量,希望又高的刻蝕速率。在採用單片工藝的設備中,這是一個很重要的參數。刻蝕速率由工藝和設備變量決定,如被刻蝕材料類型、刻蝕機的結構配置、使用的刻蝕氣體和工藝參數設置。刻蝕速率用下式來計算:
刻蝕速率=ΔT/t(Å/min);
其中,ΔT=去掉的材料厚度(Å或μm),t=刻蝕所用的時間(分)
刻蝕速率通常正比於刻蝕劑的濃度。硅片表面幾何形狀等因素都能影響硅片與硅片之間的刻蝕速率。要刻蝕硅片表面的大面積區域,則會耗盡刻蝕劑濃度使刻蝕速率慢下來;如果刻蝕的面積比較小,則刻蝕就會快些。
[1]
- 參考資料
-
- 1. 超大規模集成電路先進光刻理論與應用 .豆瓣讀書[引用日期2019-06-04]
- 2. 微納尺度製造工程 .豆瓣讀書[引用日期2019-06-04]
- 3. 韋亞一.計算光刻與版圖優化:電子工業出版社,2021年