分析電子顯微鏡

analytical electron microscope；AEM

是由透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和電子探針組合而成的多功能的新型儀器。其功能有：可獲得透射電子圖像、掃描透射電子圖像、二次電子圖像、背散射電子圖像和X射線圖像，可用X射線能譜和電子能譜進行微-微區成分分析，用多種衍射技術進行晶體結構分析、粒度分析和陰極發光觀察等。在高分子材料科學中用於分析結晶材料中的缺陷和雜質。