內應變

內應力的產生往往與加工工藝直接有關，如熱塑性樹脂擠出成型時，分子配向及冷卻速度不均等，熱固性樹脂成型時，各向固化度不同等都會造成內應力。通過改進成型工藝可以減少內應力從而降低內應變的形成檢查內應力的方法，對熱塑性樹脂製品可用溶劑浸漬法、偏光法（透明樹脂）及測定變形温度等。某些透明熱固性樹脂固化後的內應力，可通過光彈分析測出 ^[1]  。

在塑性加工領域中，為了研究金屬流動規律，經常需要研究不同塑性加工過程中變形體內部的應力應變分佈。在各種物理模擬方法中，面內雲紋法具有一定的優越性。它可以對各種不同性質的模擬材料或實物材料進行研究，得到直觀明瞭的等位移線，並且可以同時測得變形體內部的正應變和剪應變，因而在金屬成形領域得到廣泛的應用。面內雲紋法的原理是把柵板貼在被測物體表面，經過一定的變形後成為變形柵。將其與未變形的基準柵疊加，從而形成雲紋圖。面內雲紋法的數據處理過程是把雲紋圖象攝入計算機內，進行各種圖象處理，包括跟蹤和細化中心線、確定雲紋級數、微分計算等。最後即可得到變形體內部的位移場和應變場。雲紋法數據處理過程的完全自動化是一件很困難的事情，而且從本質上講，雲紋法還存在一些不足，如信息量小、數據分佈不均勻、由於人工干預而造成精度的降低等等。相比之下，相位法具有強大的優勢。

相位法主要應用於三維曲面形體的形狀檢測。它直接利用被測試件表面調製的柵線信息，採用數學的方法（包括快速傅里葉變換、頻譜分析及多種數字圖象處理）進行解調，從而得到高度分佈信息。相位法與雲紋法相比，由於採用數學手段進行解相，無人工干預，因而具有自動化程度高，數據量大，精度高，且數據分佈均勻等特點。相位法在三維曲面形體檢測中的研究比較多，應用於面內應變測量的研究卻很少。豐富和發展相位法，使之適用於面內變形的測量，具有相當大的實用價值 ^[2]  。

隨着近代高技術、科學的發展，微電子、大規模集成電路、計算機工程和各種複合材料的廣泛應用，材料或結構的破壞、損傷是值得注意的問題。宏觀斷裂力學是對裂紋體、裂紋尖端進行變形場，應力場奇異性分析。但是在裂紋尖端微小區域內，宏觀斷裂力學解是不適用的。無論脆性材料還是韌性材料的破壞都是由細觀局部開始的。在外力、温度或其他環境影響下，首先材料細觀損傷，出現局部缺欠（缺欠可能是微孔洞或微裂紋），逐漸發展而導至破壞.因此細觀力學作為材料科學與力學相結合的學科引起學者們極大興趣。它是研究材料由連續體在外界環境作用下如何變成非連續體，發展過程，臨界條件，本構關係等問題。理論研究和實驗研究都是十分重要的。由於研究細觀微小區域內的行為，一般情況下是大變形狀態，要求測量精度高，給試驗帶來極大的困難。由實驗上探索微區內變形場測量是很重要的，現代圖象分析技術用於小區測量是值得注意的研究領域 ^[3]  。

1.採用磁過濾陰極脈衝真空弧沉積系統（PF-CVAD）在襯底温度400℃、氧氣分壓4.0×10-2Pa,靶負壓400 V條件下製備的Si(100)襯底上的ZnO薄膜內應變主要呈壓應力，壓應力的出現歸因於薄膜製備過程中的“atom peening”機制。

2.部分在沉積過程中束縛於ZnO薄膜內非平衡位置的原子在退火後遷移至平衡位置導致了薄膜壓應力的降低。

3.升高退火温度可以促進ZnO薄膜晶粒生長並降低薄膜的壓應力，當退火温度升至約530℃，薄膜的內應變由壓應力轉變為以張應力 ^[2]  。