薄膜技術

薄膜是一種特殊的物質形態，由於其在厚度這一特定方向上尺寸很小，只是微觀可測的量，而且在厚度方向上由於表面、界面的存在，使物質連續性發生中斷，由此使得薄膜材料產生了與塊狀材料不同的獨特性能。薄膜的製備方法很多，如氣相生長法、液相生長法(或氣、液相外延法)、氧化法、擴散與塗布法、電鍍法等等，而每一種制膜方法中又可分為若干種方法。薄膜技術涉及的範圍很廣，它包括以物理氣相沉積和化學氣相沉積為代表的成膜技術，以離子束刻蝕為代表的微細加工技術，成膜、刻蝕過程的監控技術，薄膜分析、評價與檢測技術等等。薄膜技術在電子元器件、集成光學、電子技術、紅外技術、激光技術以及航天技術和光學儀器等各個領域都得到了廣泛的應用，它們不僅成為一間獨立的應用技術，而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段