高端電子製造裝備高速高精點位操作的關鍵技術與典型應用

陳　新（廣東工業大學）

高雲峯（大族激光科技產業集團股份有限公司）

王　晗（廣東工業大學）

楊志軍（廣東工業大學）

陳新度（廣東工業大學）

王光能（深圳市大族電機科技有限公司）

2020年1月10日，榮獲2019年度國家技術發明獎二等獎。 ^[1] 

20年前，全球電子產業開始大規模轉移到我國。時至今日，電子製造產業已成為我國重要的支柱產業，廣東地區成為了全球電子製造中心。電子製造裝備種類繁多、換代迅速、競爭激烈，高端裝備與關鍵零部件長期依賴進口、價格昂貴、技術受制於人、產業基礎薄弱。高速/高精點位操作是眾多高端電子製造裝備共性需求。時至今日，點位操作的速度/精度矛盾日益突出，成為行業國際競爭的制高點。

陳新教授介紹， ^[2]  定位的精度要求達到頭髮絲的五十分之一至七十分之一，這個精度在沒有速度的要求下比較容易實現，但一旦有了高速度的要求，就變得非常難。“這項技術制約了我們很多高端裝備都做不出來，或者做出來也比國外的效率低、精度差。”

為了解決這個難題，陳新教授領銜的團隊，瞄準高端電子裝備高速高精的共性需求，歷經二十年的基礎研究與技術攻關，突破了多項關鍵技術，建立了高速精密電子裝備數字化設計與製造的理論與技術體系，研製了系列核心基礎部件和典型高端裝備，獲得國內國際一流龍頭企業的嚴格認證與批量採購。項目有力推動了系列電子製造裝備的自主可控，服務企業千餘家，為我國電子製造產業的高速發展做出了突出貢獻。

據介紹，項目成果和後續研究將持續有力支持我國電子製造產業的自動化/智能化轉型升級；系列基礎運動部件將有力支撐我國高速高精電子製造裝備的自主可控、持續創新與實現跨越。項目形成的理論與技術基礎，將支撐與引領我國電子裝備行業技術進步與健康發展。