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頸縮
(計算光刻工藝中圖形缺陷)
鎖定
頸縮是指局部圖形尺寸較目標圖形尺寸縮減的缺陷。圖形拆分可以被認為是有條件的間距問題,基於設計規則(DRC)定義一系列
拆分規則,依據拆分規則完成圖形分解。
- 中文名
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頸縮
- 外文名
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Pinching/Necking
- 釋 義
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計算光刻工藝中圖形缺陷
拆分規則會對
版圖上的多邊形尺寸、
間距提出要求,如圖 1
[1]
所示,包括最小允許週期(minPitch)、最小允許
線間距(minSpace)、最小允許拐角至拐角距離(min corner-to-corner, minC2C)等。
圖1 圖形拆分規則的一些例子
實際上,結構複雜的版圖,多邊形相鄰約束要求較多,必須對多邊形引入切割才能完成拆分規則要求。當相鄰多邊形違背拆分規則的間距(衝突)形成奇數週期時,就必須引入切割才能解決衝突,如圖 2
[1]
所示。將原本連續的多邊形分成兩部分,分割處稱為縫合點(stitch)。在多邊形切割處,對切割後形成的位於兩張
掩模上的線端都需要進行線端縮進補償。切割處對
套刻誤差以及
工藝窗口變量格外敏感,並且還會由於線端縮進補償過量導致新的違規衝突出現,因此需要嚴格選擇切割位置以及控制切割補償量,圖2中的深色即為線端補償。如果線端補償過少則會導致線條頸縮缺陷(pinching),如圖3
[1]
所示。
圖2 對圖形做切割以消除奇數週期
圖3 線端補償不夠導致頸縮(pitching)
- 參考資料
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1.
韋亞一.超大規模集成電路先進光刻理論與應用.北京:科學出版社,2016:481-482