路新春

路新春，男，博士，清華大學教授，博士生導師，2008年度國家傑出青年科學基金獲得者。

1988年7月獲吉林大學工學學士學位，1991年1月吉林大學獲工學碩士學位，1994年3月獲中國科學院金屬研究所工學博士學位。1998.09-1999.12香港城市大學訪問學者，2000.09-2001.01 瑞士電子與微技術中心訪問學者，2002.04-2003.10阿拉斯加大學助理教授。

路新春本、碩就讀於吉林大學，之後在中國科學院金屬研究所獲得了博士學位。1994 年 4 月，他進入清華大學博士後和講師工作。1996 年-2012 年，路新春歷任清華大學精密儀器與機械學系副教授、教授，2013 年後為清華大學機械工程系教授、首席研究員。華海清科創辦後，路新春為公司董事長、總經理，2014 年 7 月兼任清華大學天津高端裝備研究院副院長，2020 年辦理離崗創業。 ^[3] 

現任華海清科股份有限公司董事長、首席科學家。 ^[3] 

薄膜製備與表徵，納米結構材料的微觀力學性能及其微觀摩擦學研究；化學機械拋光、腐蝕磨損研究；材料摩擦磨損研究。

1998年1月“激光檢測原子力/摩擦力顯微鏡的研製及應用”獲國家教委科技進步二等獎，1997年12月“金屬磨蝕機理研究”獲中國科學院自然科學三等獎，2001年5月“納米級薄膜潤滑理論與實驗研究”獲中國高校自然科學一等獎，2001年“納米潤滑理論與實驗研究”獲國家自然科學二等獎，2000年2月“納米級潤滑膜厚度測量技術研究”獲清華大學科研成果推廣應用效益顯著專項獎，1997年1月“清華之友”獲優秀青年教師獎勵金二等獎。 ^[1] 

2023年4月，榮獲全國五一勞動獎章。 ^[4] 

2021年10月，由路新春教授帶領清華大學成果轉化項目公司華海清科研發的首台12英寸超精密晶圓減薄機（Versatile-GP300）正式出機，發往國內某集成電路企業。該裝備是路新春教授團隊與華海清科股份有限公司繼解決我國集成電路拋光裝備“卡脖子”問題後的又一突破性成果，將應用於3D IC製造、先進封裝等芯片製造大生產線，滿足12英寸晶圓超精密減薄工藝需求。 ^[2] 

路新春教授團隊堅持認為，大學在解決當前出現的關鍵核心技術“卡脖子”問題上應當大有作為，且以產業報國為己任，積極推進科研成果轉化，實現基礎研究和產業需求縱向貫通。 ^[2]