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袁凱
(電子科技大學光電信息學院研究員)
鎖定
袁凱,男,漢族,電子科技大學光電信息學院研究員。
- 中文名
- 袁凱
- 國 籍
- 中國
- 民 族
- 漢族
- 性 別
- 男
袁凱個人簡介
1982年於瀋陽某微電子研究所參加工作:
1982年~1985年,任離子注入工藝技術員
1985年~1993年,負責蒸發、濺射工藝技術負責。
1991年~1994年,從事器件工程師工作,先後承擔過若干種NMOS、CMOS電路的研製工作,負責器件的工藝設計、工藝串線及工藝調整。
1995年~1999年任研究所芯片研製中心工藝線線長,負責工藝線所有器件(包括NMOS、CMOS、TTL器件)的工藝設計,工藝實施、工藝調整及生產管理。高級工程師
1999年~2001年,任研究所芯片研製中心副主任。研究員
2001年~2006年任研究所芯片研製中心主任。
2006年任研究所副總工師。
2006年任電子科技大學光電信息學院研究員。
袁凱研究方向
十幾年來,先後承接國家及部下達的科研任務有幾十項,開展的基礎工藝研究項目有:
肖特基TTL電路多層電極技術研究;
難熔金屬及硅化物技術研究;
高温定薄膜電阻技術研究;
VLSI高性能LDDMOSFET工藝研究;
特種內存多層多晶結構的生成、及腐蝕工藝研究;
特種內存優質薄層柵氧化特性研究;
抗輻照工藝技術研究;
紅外焦平面雙閾值、雙層多晶工藝技術研究;
現從事研究方向:
MEMS工藝技術研究;
光電集成器件技術研究等。
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