薄膜與微細技術教育部重點實驗室

薄膜與微細技術教育部重點實驗室建立於1993年8月，1993年12月正式開放運行。實驗室依託上海交通大學。2000年經教育部批准更名為教育部重點實驗室。

2002年9月參加教育部的評估，評估結論為五個優秀實驗室之一，這次是實驗室建立以來第一次參加國家重點實驗室的評估。

實驗室以薄膜與微細技術領域的原創性研究和國民經濟建設的需求為主要研究方向，開展微米納米技術和應用的前沿研究。

重點放在薄膜電子材料及薄膜傳感器、微細加工技術、微機電系統（MEMS）、微光機電系統（MOEMS）、納米電子學、納米材料與技術等方面的應用基礎研究。幾年來主持、參與完成了一批國家973項目、國家863計劃項目、國家自然科學基金項目、國家“九五”“十五”攻關項目、以及包括解放軍總裝備部、教育部、上海市科委等的省部委重大、重點項目。

獲得國家技術發明二等獎一項、各種省部委獎7項、共申請發明專利36項，獲授權4項。實驗室積極開展國際學術交流，注重實驗室的開放與國際、國內的合作，培養了一支以具有博士學位的教師為主的科研和教學隊伍。

經過幾年的努力，目前在薄膜與微細技術方面，特別在三維非硅材料的加工、電磁型微驅動器、形狀記憶合金薄膜驅動器、納米傳感器、納米電子學和納米材料製備、納米碳管排布技術等方面形成了自己的特色，成為國家的重要研究基地之一。實驗室在處於啓動階段的“十五”計劃中，簽訂了包括國家863計劃等在內的40多項項目，呈現了強勁的發展趨勢。