聲傳感器

聲傳感器是指半無限大材料表面傳播的表面聲波,或壓電薄板材料中的波等,由於受邊界上力學、電學等邊界條件的影響，傳播特性也會發生改變，測出這些特性(主要是聲速)的改變,即可檢測出邊界上力學參數例如微質量、應力、黏滯、温度等和電學參數(如介電常數)等的改變,這就是聲傳感器。它結合平面集成工藝製成的聲傳感器具有體積小、靈敏度高、造價低等優點，因而在物理、化學、環境監測、生化過程等的在線實時檢測中具有

很好的應用前景。