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粘滯性
（光刻中衡量光刻膠流動特性指標）
鎖定
- 中文名
- 粘滯性
- 外文名
- Viscosity
粘滯性與時間相關，因為它會在使用中隨着光刻膠溶劑揮發增加
[2]
。粘滯性非常重要，因為硅片表面具有各種形貌，例如，台階和狹縫，在這些地方，它會影響光刻膠的厚度和均勻性。隨着粘滯性增加，光刻膠流動的趨勢變小，它在硅片上的厚度增加。低粘滯性光刻膠流動的傾向性更大，會在硅片表面產生更薄的覆蓋層。
[1]
- 參考資料
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- 1. 半導體制造技術 ．豆瓣讀書[引用日期2019-12-10]
- 2. 超大規模集成電路先進光刻理論與應用 ．豆瓣讀書[引用日期2019-12-10]
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