真空脱氣塔

它的工作原理是用一個裝置將水從上噴淋而下，經過濾料分散後，水中的CO2及O2逸出，而真空泵在塔的中部抽真空，CO2及O2被真空泵吸走，脱氣後的純水流至塔底，經混牀供給泵增壓後進入後處理混牀。如果真空脱氣塔進水呈弱酸性，水中的碳酸鹽也能被大量去除，因為當水的PH值小於4.3時，水中碳酸幾乎完全以二氧化碳的形式存在，由於未脱氣的反滲透產水一般為弱酸性，所以真空脱氣塔一般放在反滲透的後級。

真空脱氣塔結構比較複雜，大的單元有脱氣塔、真空泵等，為了保證進水分散均勻，濾料層高度需設置得很高，導致脱氣塔高度達十幾米，設備佔用空間龐大，另外，由於脱氣塔液位控制很嚴格，液位過高，容易使脱氣效率下降，過低，容易導致水泵吸空，引起生產事故，所以使用的液位計必須十分靈敏。雖然真空脱氣塔不會帶入外界新的雜質，但是由於設備結構複雜，佔地空間大，運行費用高，所以在實際生產應用方面受到一定限制。