特徵圖形

這些特定設計的基本圖形由一條連續邊界線包圍的區域（可以是一個具有一定寬度的線條、矩形，也可以是一些圖形集合成的封閉多邊形，該多邊形的任何邊不允許有交叉現象），而且其物理性質要和背景區域的土行不通，稱之為特徵圖形（比如一個測試中最簡單的單元、一根有寬度的小線條）。用以區分特徵圖形物理性質的一些參數，包括折射率、反射率、高度、粗糙度及其他半導體電學特性等 ^[1]  。

這些特徵圖形可以是檢測圖形、檢測標記、套刻標記和關鍵尺寸圖形。