關鍵尺寸

關鍵尺寸（CD） 芯片上的物理尺寸特徵被稱為特徵尺寸。描述特徵尺寸的另一個術語是電路的幾何尺寸。特別值得關注的是硅片上的最小特徵尺寸，也稱為關鍵尺寸或CD。例如：如果在芯片上的最小尺寸是0.18μm，那麼這個尺寸就是CD。自半導體製造業開始以來，器件的CD一直在縮小，從20世紀50年代初期以大約125μm的CD開始，是7nm或者更小。半導體產業使用的“技術節點”這一術語描述在硅片製造中使用的可應用的CD。

除此之外，關鍵尺寸還可以定義為，在特定曝光強度閾值下得到的光刻膠溝槽或線條的寬度，如圖1所示。相似地，光刻空間像給出的是相對強度，則光刻空間像的關鍵尺寸可以定義為在特定相對強度閾值下所得到的圖形的寬度 ^[1]  。