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激光調阻機
鎖定
- 中文名
- 激光調阻機
- 激光類型
- 半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
- 激光波長
- 1064/532/355nm
- 對焦方式
- 計算機程序控制
激光調阻機技術參數
激光調阻機激光器系統
l 激光類型：半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
l 激光波長：1064/532/355nm
l 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光頻率：200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸：30µm
實際切口取決於材料、光學器件和波長；可根據需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12µm
l 泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時
l 冷卻方式：風冷
l 對焦方式：計算機程序控制
激光調阻機定位系統
l 激光束運動範圍：75mmX75mm（可選配其他規格）
l 點到點運動時間：5ms（典型）
l 最大速度：7000mm/s
l 重複定位精度：2.5µm
l 激光束最小步進：0.76µm
激光調阻機圖像監視系統
l 監視方式：激光同軸監視
l 最大放大倍數：>100倍
l 圖像監視顯示屏：19寸液晶
激光調阻機測量系統
l 激勵方式：電流/電壓激勵
l 恆流源：0.01µA~100mA計算機程控選擇
l 恆壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓範圍）
l 電阻測量方式：四線制加電流測電壓
l 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
l 調節對象發熱控制：程序可設定
l 電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
l 電阻測量範圍：0.01Ω-500MΩ
l 電阻測量速度：25µs
l 直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
l 探針板：44針11組四線制（可選其它規格）
l 探針板運動：計算機程序控制
激光調阻機計算機及軟件
l 工業控制計算機（雙核），17寸液晶
l 操作系統：Windows XP
l VB平台開發的可視化應用軟件，界面友好，功能強大
激光調阻機分步重複運動
l 運動XY範圍：290x260mm
l 運動分辨率：1µm
l 定位精度：小於6µm（帶誤差補償）
l 重複定位精度：小於3µm
l 最大運動速度：900mm/s
l 具有温度補償等功能
激光調阻機温度測量
l 温度測量精度：0.2℃
l 調阻温度修正：計算機程序控制
激光調阻機其它技術指標
l 供電電壓：220V AC
l 整機功耗：小於1000W
激光調阻機注意事項
激光調阻機產品特點
激光調阻機調阻精度高
l 先進的激光器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的激光束
l 四線制高速測量系統，測量時間僅為25us
l 擁有軟件預調誤差補償功能
激光調阻機調阻速度快
l 先進的激光器擁有極高的重複頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
l 德國進口掃描振鏡，掃描速度極快
l 高精度分步重複機構，空氣軸承，移動速度及加速度快
激光調阻機可靠性高
l 整機配置核心器件均採用原裝進口配置
l 採用花崗岩台座，穩定可靠
激光調阻機功能強大
l 擁有温度實時補償功能
l 同時具有激光劃片和打標功能
激光調阻機成本低廉
l 採用半導體端面泵浦或光纖激光器
l 使用壽命長，性能穩定
l 電光轉換效率高，節約用電成本
l 採用風冷系統，無須外置冷卻設備
l 操作簡單，無須高額培訓成本
激光調阻機應用市場
主要應用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛應用於
l 厚膜混合集成電路
l 電子元器件
l 汽車電器
l 傳感器
l 軍工科研
l 片式電阻等行業
- 參考資料
