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沈天慧
鎖定
- 中文名
- 沈天慧
- 國 籍
- 中國
- 出生地
- 浙江嘉善
- 出生日期
- 1923年4月27日
- 逝世日期
- 2011年1月2日
- 畢業院校
- 上海大同大學
- 職 業
- 教育科研工作者
- 主要成就
- 1980年當選為中國科學院學部委員(院士)
沈天慧人物生平
1945年,進入上海大同大學化工系就讀。
1954年,被選派到中科院瀋陽金屬研究所工作。
1957年,被派往蘇聯莫斯科冶金研究所進修半導體硅和化合物半導體的研製。
1966年,調到中科院156工程處(北京)。
1970年,遷至陝西臨潼縣航天工業部771研究所。
沈天慧主要成就
沈天慧科研成就
- 科研綜述
沈天慧參加了包頭稀土鐵礦以及鉬礦的分析工作。開展了用三氯氫硅法制備超純硅的研究工作。1966年—1986年從事半導體材料及航天用大規模集成電路的研製。1978年成功地用等平面N溝硅柵MOS工藝,研製出大規模集成電路數種。1987年後,從事磁頭磁盤及電磁型微馬達的研製工作,研製出直徑為2mm的微馬達。
[3]
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- 學術論著
沈天慧最早論文發表是1988年在微電子學與計算機(期刊)上的VLSI工藝技術——五、超微細加工一文。截至2004年在微電子學與計算機、微細加工技術、上海交通大學學報等期刊上共發文14篇,其部分論著如下:
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[1]沈天慧.化學在集成電路中的作用[J].化學通報,1984(10):3-4.
[2]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積氮化硅的工藝及其應用研究——(Ⅰ)光化學氣相澱積氧化硅的工藝研究[J].微電子學與計算機,1993(02):46-48.
[3]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積氮化硅的工藝及其應用研究——Ⅱ光化學氣相澱積氮化硅膜的性質[J].微電子學與計算機,1993(03):47-51.
[4]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積氮化硅的工藝及其應用研究——(Ⅲ)光CVD氮化硅薄膜應用於提高器件可靠性[J].微電子學與計算機,1993(09):3-5.
[5]沈天慧,李積和,何蓮萍,陳青松,汪師俊.用多晶硅吸雜和SiO_2背封工藝提高硅片質量[J].微電子學與計算機,1997(02):17-19.
[6]鎳鈦合金形狀記憶薄膜的化學刻蝕[J]. 丁桂甫,徐東,趙小林,張壽柏,蔡炳初,沈天慧. 微細加工技術. 1999(03).
[7]微機電系統中的材料和加工[J]. 張壽柏,丁桂甫,郭曉芸,沈天慧. 上海有色金屬. 2000(03).
[8]CVD金剛石薄膜RIE掩模技術研究[J]. 丁桂甫,俞愛斌,趙小林,姚翔,沈天慧. 微細加工技術. 2001(03).
- 科研獲獎
沈天慧榮譽表彰
時間 | 榮譽表彰 |
1980年 | |
2006年 | |
2009年 | |
2009年 |
沈天慧社會任職
上海交通大學學術委員會委員 | |
上海交通大學材料與化工研究院顧問 | |
微納米加工技術重點實驗室學術委員會主任 | |
航天部科技委員會委員 | |
宇航學會第一屆理事 | |
沈天慧個人生活
- 家庭背景
- 婚姻家庭
沈天慧人物評價
- 參考資料
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- 1. 沈天慧 . 上海交通大學檔案館(黨史校史研究室)[引用日期2020-02-03]
- 2. 丹心永留的沈天慧院士 .中國科學院.2011-02-28[引用日期2019-03-24]
- 3. 半導體化學家沈天慧院士逝世---- .中國科學院[引用日期2022-03-17]
- 4. 化學部-沈天慧 .-中國科學院院士院士館[引用日期2022-03-17]
- 5. 半導體化學家沈天慧院士逝世---- .中國科學院[引用日期2022-03-17]
- 6. 沈天慧-- .上海交通大學檔案館[引用日期2022-03-17]
- 7. 沈天慧教授--- .上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 8. 沈天慧--- .中國科學報社[引用日期2022-03-17]
- 9. 沈天慧-- .中國工程科技研究機構與專家庫[引用日期2022-03-17]
- 10. 沈天慧-- .中國知網[引用日期2022-03-17]
- 11. 沈天慧-- .西安微電子技術研究所[引用日期2022-03-17]
- 12. 馬德秀書記前往沈天慧院士家中弔唁-- .上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 13. 首屆徐光啓科技榮譽獎章頒發---- .上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 14. 獲評新中國60年上海百名優秀女教師--- .上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 15. 當選新中國60年上海百位突出貢獻女性--- .上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 16. 沈天慧:科學的酸甜苦樂---- .中國科學院[引用日期2022-03-17]
- 17. 宇航學會第一次全國會員代表大會-- .中國宇航學會[引用日期2022-03-22]
- 18. 沈天慧-- .中國科學院[引用日期2022-03-29]
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